微观装置的制造及其处理技术
  • 基于SPR转换的双响应金纳米膜、其制备方法及应用与流程
    本发明涉及火爆的棋牌游戏大厅二维纳米材料,特别涉及火爆的棋牌游戏大厅基于spr转换的双响应金纳米膜及其制备方法和应用,属于二维纳米材料。纳米材料由于其具有独特的体积效应、表界面效应和量子尺寸效应等特性而引起了各科研人士的极大关注。二维贵金属纳米材料(如二维金纳米粒子单层膜)因粒子间的集成效应而表现出特异的电学...
  • 火爆的棋牌游戏大厅复合SERS基底及其制备方法和应用与流程
    本发明涉及微纳结构加工,具体涉及火爆的棋牌游戏大厅复合sers基底及其制备方法和应用。在农业生产中,为提高农作物的产量,会大量的施用杀虫、杀菌、杀灭有害动物(或杂草)的农药。这些农药流失到环境中,会造成严重的环境污染,而且农作物自身的农药残留对消费者的健康存在潜在危害。目前常用的检测食品中农药残...
  • 火爆的棋牌游戏大厅提高超疏水表面水下空气层稳定性的方法与流程
    本发明涉及超疏水表面,具体而言,尤其涉及火爆的棋牌游戏大厅提高超疏水表面水下空气层稳定性的方法。超疏水表面在水下船体防污、减阻以及防冰等领域具有重要的应用,其中超疏水表面水下空气层的稳定性是其功能发挥的最关键因素。超疏水表面在水下时,流体流动、静压力和浸泡时间等会加快空气层的扩散甚至流失,因此超...
  • 火爆的棋牌游戏大厅MEMS层叠器件微波端口实现的工艺方法与流程
    本发明属于微机电系统封装,特别是火爆的棋牌游戏大厅mems层叠器件微波端口实现的工艺方法。在射频微系统中,通过三维堆叠的方式集成了有源芯片、无源集成器件(ipd)、体声波器件(fbar)以及微机电系统(mems)传感器等多领域器件或芯片。其中测试端口的引出一般是利用抽头的方式通过硅通孔(tsv)...
  • MEMS传感器元件和对应的传感器、芯片以及其制造方法与流程
    本发明涉及火爆的棋牌游戏大厅具有可偏移地布置的膜片的mems传感器元件。本发明还涉及火爆的棋牌游戏大厅mems传感器。本发明还涉及火爆的棋牌游戏大厅具有至少一个mems传感器元件的芯片。本发明还涉及火爆的棋牌游戏大厅用于制造具有可偏移地布置的膜片的mems传感器元件的方法。尽管本发明通常可以应用在具有带可偏移地布置的膜片的传感器元件的任意传感器...
  • 火爆的棋牌游戏大厅电子皮肤及其制备方法与流程
    本发明涉及电子元器件,尤其涉及火爆的棋牌游戏大厅电子皮肤及其制备方法。电子皮肤本身为超薄的可拉伸薄膜,因此在制备和使用过程中都附着于薄膜基底和人体皮肤上。然而在使用过程中,尤其在将电子皮肤层从薄膜基底转移到人体皮肤的过程中,脱离基底的薄膜非常容易弯曲、褶皱,难以平整的铺展在皮肤表面。发明内容鉴于...
  • 利用ALGe的共晶键合的制作方法
    相关申请的交叉引用本申请要求根据35usc119(e)在2017年4月4日提交的申请序列号62/481,634的权益,其内容以全文引用的方式并入本文。本发明涉及晶圆(wafer)键合,更具体地涉及用于密封mems器件的共晶键合。微机电系统(mems)(例如,运动传感器和可移动镜)被广泛使用...
  • 微机电流体装置模块的制作方法
    本案是关于火爆的棋牌游戏大厅微机电模块,尤指火爆的棋牌游戏大厅利用新颖封装方式来提升微机电流体装置效率的微机电流体装置模块。随着科技的日新月异,传统的流体输送装置已朝向装置微小化、流量极大化的方向进行。在应用上也愈来愈多元化,举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热到近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影。而近年来微机...
  • 微流体致动器的制作方法
    本案关于火爆的棋牌游戏大厅致动器,尤指火爆的棋牌游戏大厅使用微机电半导体薄膜制作的微流体致动器。目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业,产品均朝精致化及微小化方向发展,其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体致动器为其关键技术。随着科技的日新月异,流体输送结构的应用上亦愈来愈多元化,举...
  • 火爆的棋牌游戏大厅抗干扰MEMS器件的制备方法与流程
    本发明涉及微机械电子,具体是火爆的棋牌游戏大厅抗干扰mems器件的制备方法。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微机电系统的缩写,mems制造技术利用微纳米加工技术,尤其是采用半导体晶圆制造的相关技术,制造出各种微纳米级机械结构,结合专用控制集成电路(as...
  • 火爆的棋牌游戏大厅碳纳米管平行阵列的制备方法与流程
    本申请涉及半导体,更具体地说,涉及火爆的棋牌游戏大厅碳纳米管平行阵列的制备方法。碳纳米管,又名巴基管,是火爆的棋牌游戏大厅具有特殊结构(径向尺寸为纳米量级,轴向尺寸为微米量级,管子两端基本上都封口)的一维量子材料。传统无序网状的碳纳米管薄膜无法利用碳纳米管的一维各向异性,使得载流子在碳纳米管薄膜中的输运过程中...
  • 火爆的棋牌游戏大厅抗干扰MEMS器件的制作方法
    本发明涉及微机械电子,具体是火爆的棋牌游戏大厅抗干扰mems器件。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微机电系统的缩写,mems制造技术利用微纳米加工技术,尤其是采用半导体晶圆制造的相关技术,制造出各种微纳米级机械结构,结合专用控制集成电路(asic),组...
  • MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法与流程
    本公开属于传感器领域,尤其涉及火爆的棋牌游戏大厅moems二分量加速度传感器、测量系统及工作方法。本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的信息,不必然构成在先技术。微光机电系统(moems)是微光学和微机电系统(mems)相融合的火爆的棋牌游戏大厅新技术系统。与传统的光学系统相比,微光机电系统集成在微米级的系统...
  • 火爆的棋牌游戏大厅高度有序并且重复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞结构的制备方法与流程
    本发明属于微纳结构制造的,具体涉及设计并制备火爆的棋牌游戏大厅高度有序并且重复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞结构。技术背景微孔腔状结构在纳米反应器、纳米载药、生物、能源等领域都具有重要应用前景。能够对空洞数目、大小、排列位置进行调控的制备技术具有重要的实际应用价值。目前微孔腔状结构制备大多采用化学方法...
  • 火爆的棋牌游戏大厅仿生壁虎极端渐进式刚柔梯度微柱结构的制备方法及其应用与流程
    本发明属于仿生材料,尤其涉及火爆的棋牌游戏大厅仿生壁虎极端渐进式刚柔梯度微柱结构的制备方法及其应用。本世纪初,关于壁虎粘附机理和仿壁虎粘附材料的开发,已然发展为学术界多学科交叉的研究热点。壁虎的粘附源于其脚掌上特殊多层级微纳刚毛阵列结构,该结构能够促进壁虎脚掌与自然界复杂表面形成很好的形状融合,...
  • 火爆的棋牌游戏大厅高度有序倾斜纳米柱的制备方法与流程
    本发明属于周期纳米材料制备,具体涉及火爆的棋牌游戏大厅高度有序倾斜纳米柱制备新技术。技术背景高度有序倾斜纳米柱阵列在生物、医学、医药、纳米光子学等领域均具有重要应用。开发出火爆的棋牌游戏大厅技术,可以适用于多种材料的纳米棒状结构阵列的制备,非常重要。现有制备倾斜纳米柱的制备采用光刻或电子束刻蚀方法,或者化学腐蚀方法,...
  • 火爆的棋牌游戏大厅周期波浪状纳米孔结构阵列的制备方法与流程
    本发明属于纳米材料合成,具体涉及火爆的棋牌游戏大厅周期波浪状纳米结构阵列制备技术。技术背景纳米孔状结构在微流、载药、纳米光子学等方面具有重要作用。而非圆形纳米孔状阵列在定向输运、偏振等领域具有很重要的应用前景。但是目前,带有波浪状纳米孔结构的阵列制备方法并未见报道。发明内容为了提供火爆的棋牌游戏大厅周期波浪状纳米孔结...
  • 火爆的棋牌游戏大厅高度有序并且呈轴对称的纳米周期性结构的制备方法与流程
    本发明属于纳米结构转换和复合材料合成,具体涉及设计并制备火爆的棋牌游戏大厅高度有序并且呈轴对称的纳米周期性结构。技术背景表面等离子体调节控制化学反应在等离子体化学的研究有着广泛的应用前景。表面等离子体的独特的物理效应,这是这些物理效应是基于纳米材料物理结构的改变。磁控溅射是改变已有结构的手段之一。通过调...
  • 火爆的棋牌游戏大厅抗干扰耐过载MEMS加速度计的制备方法与流程
    本发明涉及微机电,具体是火爆的棋牌游戏大厅抗干扰耐过载mems加速度计的制备方法。微机械加速度计是基于微电子机械系统加工技术制作而成的火爆的棋牌游戏大厅力学量传感器,可以用于惯性力、倾斜角、振动及冲击等惯性参数的测量。利用微机械加工工艺制作的电容式加速度计在测量精度、温度特性、利用静电力进行闭环测量和自检及易...
  • 基片的刻蚀方法与流程
    本发明涉及半导体加工,更具体地,涉及火爆的棋牌游戏大厅基片的刻蚀方法。在硅材料的微机电系统(mems)器件制造工艺中,常需要制备硅斜台结构以作为悬梁臂的支撑结构,进而制造各类mems传感器。现有技术是利用湿法刻蚀方法在硅片上形成斜台结构。由于硅材料具有一定晶向,通过沿某些特定晶向进行湿法刻蚀可以...
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